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Cathodoluminescence

Mit dieser Methode kann man kleinste Halbleiter- (oder auch andere) Strukturen mit wenigen 10 nm GrĂ¶ĂŸe gleichzeitig in einem hoch auflösenden Feldemitter-Elektronenmikroskop „ansehen“ und den Elektronenstrahl nutzen, um die Elektronen in der Probe vom Valenzband ins Leitungsband anzuregen. Die angeregten Elektronen fallen in tiefere gebundene, meist quantisierte ZustĂ€nde und liefern beim „Rekombinieren“ mit ihrem Gegenpart, den Löchern, ein charakteristisches Strahlungsspektrum. Dieses kann Informationen liefern ĂŒber
- die BandlĂŒcke
- die Materialkomposition
- quantisierte ZustÀnde
- Kristalldefekte
- Dotierung
- Verspannung
- Moden in Nanoresonatoren etc.

 

Der Aufbau

 

2) Emission von „inversen Pyramiden“ aus GaN mit InGaN-Quantenfilm

[Translate to english:] WellenlÀngenselektive SEM-KL-Bilder von inversen Pyramiden, aufgenommen bei 440 (a) und 472nm: Verschiedene Wachstumsfacetten strahlen bei verschiedenen WellenlÀngen ab.